DAJA超潔淨元件

VMB / VMP

VMB / VMP

右圖為大甲永和為客戶所製作之2 Stick型VMB。具有三組獨立壓力傳送器,可監控氣源以及兩組製程管路壓力狀態。
所有管閥件皆採用EP等級316L不銹鋼,管件皆於無塵室內進行焊接動作。
除了調壓閥以外,內部管件皆為本廠自行生產,所使用之手動閥也為大甲生產,品質可確保。箱體採用粉體烤漆鋼板並且各箱體皆為密閉空間。箱體內常保持負壓,上方具有抽氣口可移除洩漏之氣體,並且設有負壓表以監控箱體內部空間壓力狀態。所有箱門皆附鑰匙鎖頭避免誤開,箱門上之通氣柵具有過濾功能,可過濾粉塵。此外設計有三色燈號,可供現場人員判斷機台是否正常運作,燈號運作方式可依客戶需求設定。


預覽處為VMB電控系統部分,除了有壓力顯示表,另有開關指示燈號、PLC燈號、電源燈號以及EMO緊急開關。
所有燈號內容皆可依照客戶所需建置,並且可預留燈號以供客戶自行擴充之用。電控系統部分採用雙PLC/CPU設計,可降低故障風險,並可設定切換主要工作系統。此外,具有雙電源供應器(24V),作為雙重保險,以免電源故障導致系統馬上失效。
PLC/CPU利用乙太網路與中控室連結,因此中控室可監測VMB之工作狀態,包括電源供應狀態、壓力、閥件開關以及偵測器訊號皆可利用乙太網路線回傳。此外,若中控室發現VMB異常,也可利用乙太網路發送緊急訊號,將VMB遠端關閉,減少反應時間與人工。為了避免故障時,製程氣體洩漏進電控箱造成問題,電控箱利用氮氣沖吹,維持正壓狀態。
大甲永和機械所生產製作之VMB / VMP有以下特點:
客製化生產 可依客戶需求進行設計,並可根據客戶預算進行最佳化。
符合規範 VMB/VMP裝置均採用半導體規範設計,包含安全性設計以及潔淨度要求。
適用性 可使用於各式G級、P級氣體以及特殊製程氣體。
生產能力 本廠即具有零件生產能力以及充足庫存,也可彈性生產特殊零件,滿足客戶需求。除了部分閥件,所有管件(如Micro fitting)、接頭(如VCR)或者手動閥等,皆可自行生產,因此可以大幅降低零件成本。
相關檢測能力 包含氦氣測漏、24小時保壓測試、水氧分析以及微粒分析等能力。可於較短時間內完成焊接、組裝以及測試。