SCST

SPECIAL CHEMICAL STORAGE TANK

• 客製化生產 : DAJA SCST可依客戶需求進行最佳化設計。包括閥的選用、外觀尺寸以及管路方向等，皆能彈性調整。
• 符合規範 : DAJA SCST均採用半導體規範設計，包含安全性設計以及潔淨度要求：
  a. 接觸藥劑的表面皆採用EP電解拋光，使其表面粗度Ra ＜0.13μm
  b. 罐體內外皆採用超潔淨清洗製程，使其內表面：
  　水氧值 ＜10ppb
  　油脂殘留量 ＜0.01mg/ft2
  　微粒等級 0.1μm ＜1pcs/scft
  c. 在潔淨室裡進行焊接，內焊道無氧化問題
  d. 罐體氦氣漏率 ＜1x10-9atm•cc /sec
  e. 罐體保壓測試：1.5倍工作壓力
• 適用性 : 1/8” ~ 1” / M6 ~ M8
• 生產能力 : EP等級 Ra5 / BA等級 Ra10 (non-EP)
• 相關檢測能力 : Class 100 無塵室環境